[发明专利]用于去除薄膜的方法和装置无效
| 申请号： | 03819704.9 | 申请日： | 2003-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN1675022A | 公开（公告）日： | 2005-09-28 |
| 发明（设计）人： | 福田直晃;北侧彰一;加藤刚;山田实;武井健治;谷本康范;鹈饲育弘;宗像昌树 | 申请（专利权）人： | 日立造船株式会社;武井电机工业株式会社;索尼株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 马洪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 通过将激光束(13)辐射在包复有薄膜(11)的基底(12)的表面上、从基底(12)的该表面去除薄膜(11)的方法，它包括倾斜地将激光束辐射(13)在基底(12)的表面上的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 去除 薄膜 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种去除薄膜方法，它包括：在包复有薄膜的基底表面上辐射激光束和从基底的该表面上去除薄膜，其中从相对于基底表面的倾斜方向辐射激光束。
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