[发明专利]MEMS阵列、其制造方法以及MEMS器件制造方法无效
| 申请号： | 03819622.0 | 申请日： | 2003-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN1675125A | 公开（公告）日： | 2005-09-28 |
| 发明（设计）人： | 汤浅光博 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B81B7/04 | 分类号： | B81B7/04;B81C1/00;H01L27/04 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 通过在基板(1)上集成例如电阻(10)、电容(20)、线圈(30)那样的多个元件和连接各元件的开关(41～44)，可以任意地连接各元件，形成MEMS阵列。开关(41～44)能够用晶体管开关或机械开关。能够用配线的短路/开路代替该MEMS阵列的开关(41～44)的接通断开，制造出MEMS器件。 | ||
| 搜索关键词： | mems 阵列 制造 方法 以及 器件 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS阵列，其特征在于：该MEMS阵列备有多个元件和连接所述各元件的开关，可以任意地对各元件进行配线。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03819622.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
