[发明专利]各向异性导电连接器,探针元件,和晶片检测仪器及晶片检测方法

摘要

本发明公开了一种各向异性导电连接器及其应用，通过它，可在长时间段上保持良好的导电性，即使其被重复使用多次，或在高温环境下重复使用。该各向异性导电连接器是具有弹性各向异性导电膜的各向异性导电连接器，其中形成有多个在膜厚度方向延伸的用于连接的导电部件。该弹性各向异性导电膜具有初始特性，假定用于连接的导电部件的总的数目是Y，该用于连接的导电部件的电阻是R_1g，该用于连接的导电部件处于这样的状态，即Y×1g的负荷在厚度方向上施加到其中弹性各向异性导电膜上，和用于连接的导电部件的电阻是R_6g，该用于连接的导电部件处于这样的状态，即Y×6g的负荷在厚度方向上施加到其中弹性各向异性导电膜上，电阻R_1g的值低于1Ω的用于连接的导电部件的数目至少为总的用于连接的导电部件的数目的90％，电阻R_6g的值低于0.1Ω的用于连接的导电部件的数目至少为总的用于连接的导电部件的数目的95％，电阻R_6g的值至少为0.5Ω的用于连接的导电部件的数目至多为总的用于连接的导电部件的数目的1％。

主权项

1.一种各向异性导电连接器，其包括弹性各向异性导电膜，其中多个用于连接的导电部件沿形成的所述膜的厚度方向延伸，其中所述弹性各向异性导电膜具有这样的初始特性，假定所述用于连接的导电部件的总的数目是Y，处于下述状态的用于连接的导电部件的电阻是R1g：即Y×1g的负荷沿其厚度方向上施加到弹性各向异性导电膜上的状态，处于下述状态的用于连接的导电部件的电阻是R6g：即Y×6g的负荷沿其厚度方向上施加到弹性各向异性导电膜上的状态，则电阻R1g的值低于1Ω的所述用于连接的导电部件的数目至少为总的所述用于连接的导电部件的数目的90％，电阻R6g的值低于0.1Ω的所述用于连接的导电部件的数目至少为总的所述用于连接的导电部件的数目的95％，电阻R6g的值至少为0.5Ω的所述用于连接的导电部件的数目至多为总的所述用于连接的导电部件的数目的1％。