[发明专利]Ⅲ族元素氮化物单晶的制造方法及由此制得的Ⅲ族元素氮化物透明单晶无效
| 申请号: | 03818328.5 | 申请日: | 2003-06-30 |
| 公开(公告)号: | CN1671892A | 公开(公告)日: | 2005-09-21 |
| 发明(设计)人: | 佐佐木孝友;森勇介;吉村政志;川村史朗;大前邦途;岩桥友也;森下昌纪 | 申请(专利权)人: | 财团法人大阪产业振兴机构 |
| 主分类号: | C30B29/38 | 分类号: | C30B29/38;H01L21/205;H01L21/208 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 陈建全 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明的目的在于提供能够高收率制造透明、位错密度少、高品质、且大块状的III族元素氮化物的单晶的制造方法。该方法是在钠(Na)和选自碱金属(Na除外)和碱土金属之中的至少一种的混合助熔剂(Flux)中,使选自由镓(Ga)、铝(Al)及铟(In)组成的组中的至少一种III族元素与氮(N)反应,藉此使III族元素氮化物单晶得以生长。本发明的氮化镓单晶为高品质的、透明的大块状单晶,具有极高的实用价值。 | ||
| 搜索关键词: | 元素 氮化物 制造 方法 由此 透明 | ||
【主权项】:
1.一种III族元素氮化物单晶的制造方法,其是在钠(Na)与选自除Na以外的碱金属和碱土金属之中的至少一种的混合助熔剂中,使选自由镓(Ga)、铝(Al)及铟(In)组成的组中的至少一种III族元素与氮(N)反应,藉此使III族元素氮化物单晶得以生长。
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