[发明专利]Ⅲ族元素氮化物单晶的制造方法及由此制得的Ⅲ族元素氮化物透明单晶无效

专利信息
申请号: 03818328.5 申请日: 2003-06-30
公开(公告)号: CN1671892A 公开(公告)日: 2005-09-21
发明(设计)人: 佐佐木孝友;森勇介;吉村政志;川村史朗;大前邦途;岩桥友也;森下昌纪 申请(专利权)人: 财团法人大阪产业振兴机构
主分类号: C30B29/38 分类号: C30B29/38;H01L21/205;H01L21/208
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 陈建全
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的目的在于提供能够高收率制造透明、位错密度少、高品质、且大块状的III族元素氮化物的单晶的制造方法。该方法是在钠(Na)和选自碱金属(Na除外)和碱土金属之中的至少一种的混合助熔剂(Flux)中,使选自由镓(Ga)、铝(Al)及铟(In)组成的组中的至少一种III族元素与氮(N)反应,藉此使III族元素氮化物单晶得以生长。本发明的氮化镓单晶为高品质的、透明的大块状单晶,具有极高的实用价值。
搜索关键词: 元素 氮化物 制造 方法 由此 透明
【主权项】:
1.一种III族元素氮化物单晶的制造方法,其是在钠(Na)与选自除Na以外的碱金属和碱土金属之中的至少一种的混合助熔剂中,使选自由镓(Ga)、铝(Al)及铟(In)组成的组中的至少一种III族元素与氮(N)反应,藉此使III族元素氮化物单晶得以生长。
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