[发明专利]可整合的流体流量和性状微传感器组件无效
申请号: | 03816970.3 | 申请日: | 2003-05-15 |
公开(公告)号: | CN1668897A | 公开(公告)日: | 2005-09-14 |
发明(设计)人: | A·帕马纳哈姆;E·萨特伦;C·卡布兹;J·G·施维希滕伯格 | 申请(专利权)人: | 霍尼韦尔国际公司 |
主分类号: | G01F1/684 | 分类号: | G01F1/684 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 廖凌玲 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种可整合的流体流量和性状微传感器组件被构造用以可操作地嵌入在实验室芯片系统中所使用的该种类型的微流筒中。所述组件为具有容纳在外壳中的微结构流量传感器从而得到结实的传感装置的结实的封装件。所述筒提供了通向所述组件的流动通路,所述流动通路引导流体通过所述流量传感器,并使流体返回所述筒的流动通路。所述流量传感器监测受控的流体流并发送表示该流量的信号。该组件结构提供了一种在多种不同的应用中可操作且准确的结实的传感器。 | ||
搜索关键词: | 整合 流体 流量 性状 传感器 组件 | ||
【主权项】:
1、一种用于监测流体流的传感器组件,所述传感器组件可容易地整合到板卡组件中,所述传感器组件包括:具有响应流体流的传感表面的传感器管芯,所述传感器管芯产生表示流体流量的信号,所述传感器管芯还具有用于传输所产生的电信号的多个电接触点;容纳所述传感器管芯并同时还提供可以使用所述电接触点的传感器外壳,所述传感器外壳具有流体入口、流体出口,以及设置在流体入口和流体出口之间的流动通道,所述流动通道被构造用以引导流体通过所述传感表面;和用于允许相关系统可以使用所述电信号而电连接至电接触点的多个连接器。
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