[发明专利]减少金属腐蚀的电化学方法处理衬底的装置与方法有效
| 申请号： | 03815021.2 | 申请日： | 2003-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN1697893A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | A·普罗伊塞 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D17/00;C23C18/16;H01L21/288;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明配置一种电化学方法处理衬底的处理工具(200)，以减少邻近于该衬底(201)的氧浓度和/或二氧化硫浓度，以减少铜腐蚀。在一个具体实施例中，在包含镀覆反应器的处理工具(200)内部，通过供给连续惰性气流和/或提供能减少与周为大气的气体交换的罩盖(201)，而形成实质惰性气氛。在电化学方法处理衬底所涉及的其它工艺步骤的过程中，也可维持该实质惰性气氛，该其它工艺步骤包括在个别工艺步骤之间的必要输送步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 减少 金属腐蚀 电化学 方法 处理 衬底 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电化学方法处理衬底的处理工具，包括：镀覆反应器(210)；及罩盖(201)，该罩盖包围该镀覆反应器(210)以定义出含有内部气氛的内体积(202)，其中该罩盖(201)用于实质上避免与周围大气的气体交换。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于先进微装置公司，未经先进微装置公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03815021.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
