[发明专利]作为金属铜沉积前体的草酸二铜（I）络合物

摘要

本发明涉及由中性路易斯碱单元稳定的草酸二铜(I)络合物，还涉及其作为金属铜沉积前体的用途。所用的路易斯碱是含有至少一个甲硅烷基或酯基的炔或烯、或腈类、饱和或不饱和的氮配体、亚磷酸盐、三烷基膦、或含氧或硫的配体。

主权项

1.通式(I)的化合物其中，铜的氧化态为+1，且L为带有至少一个甲硅烷基或酯基的R-C≡C-R′、带有至少一个甲硅烷基或酯基的R′HC＝CHR、R′₃Si-C≡C-R′，R′₃N、R′₂N(CH₂)_nNR′₂、取代或未取代的2，2′-联吡啶、1，10-菲咯啉、P(OR′)₃、P(烷基)₃、R′-O-R′、R′-O(CH₂)_nO-R′、R′-S-R′-S(CH₂)_nS-R′、或选自由CH₃-C≡N、^tBu-C≡N、C₄H₉C≡N和Ph-C≡N组成的组的腈，其中R为带有至少一个SiR′₃或COOR′基的A、芳基、烷基芳基或炔基，且R′为R、H、A、芳基、烷基芳基或炔基，此处L、R和R′在分子的不同位置可分别彼此独立地采用相同或不同的含义，而且A为直链或支链C₁-C₃₀-烷基、C₃-C₃₀-环烷基、直链或支链C₂-C₃₀-烯基、或者是直链或支链C₃-C₃₀-环烯基，芳基为C₆-C₁₀-芳基或烷基芳基，烷基芳基为C₇-C₁₈-烷基芳基，炔基为直链或支链C₂-C₃₀-炔基。