[发明专利]可延展的金属间溅射靶的制造方法无效
| 申请号： | 03813211.7 | 申请日： | 2003-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN1685078A | 公开（公告）日： | 2005-10-19 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·桑德林;贝恩德·孔克尔;张文军 | 申请（专利权）人： | 黑罗伊斯有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;郭国清 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及制造具有金属间化学组成的溅射靶，这使得它们可充分延展以进行加工和溅射。靶通过元素或合金粉末制造，其中至少一种具有非常细的粒度，例如400目。元素或合金粉末被混合、装罐、在低温和高压下进行热等静压制、形成坯料、和被加工形成靶。 | ||
| 搜索关键词： | 延展 金属 溅射 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造具有金属间化学组成的可延展的溅射靶的方法，该方法包括如下步骤：选择粗的元素或合金粉末，混合，装罐，在低温和高压下热等静压制，形成坯料，和加工该坯料以形成靶。
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