[发明专利]感光性树脂组合物和耐热性树脂膜的制造方法有效
| 申请号: | 03812102.6 | 申请日: | 2003-05-28 |
| 公开(公告)号: | CN1656427A | 公开(公告)日: | 2005-08-17 |
| 发明(设计)人: | 三好一登;奥田良治;富川真佐夫 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/037 | 分类号: | G03F7/037;G03F7/022;H05B33/10;H05B33/14 |
| 代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 段承恩;田欣 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供一种感光性树脂组合物,其含有(a)具有特定结构的树脂、(b)感光剂、(c)在大气压下沸点在100℃~140℃的有机溶剂,并且(c)成分的含量相对于有机溶剂总量为50重量%~100重量%,本发明还提供采用该树脂组合物的耐热性树脂膜的制造方法。根据本发明,可提供难以产生转印痕和划出条纹等缺陷的感光性树脂组合物。 | ||
| 搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 耐热性 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,其含有(a)具有用通式(1)表示的结构的树脂、(b)感光剂、(c)在大气压下沸点在100℃~140℃的有机溶剂,并且(c)成分的含量相对于有机溶剂总量为50重量%~100重量%。
(式中R1为具有2个或其以上碳原子的2价到8价的有机基团、R2为具有2个或其以上碳原子的2价到6价的有机基团、R3和R4可相同或不同,表示氢原子或碳原子数为1到20的有机基团。n在5到100000的范围、p和q分别为0到4的范围,r和s分别为0到2的范围。p+q>0。)
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