[发明专利]微机电系统方法无效
| 申请号： | 03811935.8 | 申请日： | 2003-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN1656643A | 公开（公告）日： | 2005-08-17 |
| 发明（设计）人： | 马奈斯·埃利亚西恩;凯恩·莲;刘俊华;罗伯特·B·伦普考斯基 | 申请（专利权）人： | 摩托罗拉公司 |
| 主分类号： | H01P1/10 | 分类号： | H01P1/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 使用标准的印刷线路板和高密度互连技术与实践，形成了具有悬臂梁的中尺度MEMS装置。该梁包括至少是一些聚合物材料以构成其长度，在一些实施例中还包含导体材料作为其承受载荷部件。在各种实施例中，该梁被固定在靠近其一端的位置，或远离其一端的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包含：提供一个至少部分地由聚合物材料构成的印刷线路板；在印刷线路板上形成一个非导体柱；形成至少部分地由聚合物材料构成的一个梁；将梁固定在非导体柱上以使梁悬置在印刷电路板上方。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于摩托罗拉公司，未经摩托罗拉公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03811935.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
