[发明专利]有源矩阵显示器件及其制作有效
| 申请号： | 03811497.6 | 申请日： | 2003-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN1656602A | 公开（公告）日： | 2005-08-17 |
| 发明（设计）人： | P·J·范德扎亚格;S·Y·勇;N·D·杨 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/20 | 分类号： | H01L21/20;H01L21/336 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 傅康;梁永 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种用于有源矩阵显示器件(16)的有源板(2)，该有源板(2)包括衬底(4)，像素区域(6)和相邻的驱动电路区域(8)。两个区域都包括使用金属来增强结晶过程(MIC多晶硅)的方法制作的多晶硅材料，但是只有驱动电路区域(8)中的MIC多晶硅经历使用能量束(10)的照射过程。TFT使用MIC多晶硅来制作，其在截止状态下的漏电流足够低，可满足在矩阵显示器件的像素区域中作为开关元件。由于只有驱动电路区域(8)需要被照射，以提供具有所需要迁移率的多晶硅，所以可以显著降低照射所需要的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 有源 矩阵 显示 器件 及其 制作 | ||
【主权项】：
1.一种用于有源矩阵显示器件(16)的有源板(2)，有源板(2)包括衬底(4)、像素区域(6)和相邻的驱动电路区域(8)，两个区域都包括MIC多晶硅，只有驱动电路区域(8)内的MIC多晶硅经历使用能量束(10)的退火过程。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
