[发明专利]视觉系统有效
| 申请号： | 03810804.6 | 申请日： | 2003-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN1653326A | 公开（公告）日： | 2005-08-10 |
| 发明（设计）人： | I·萨迪克;J·C·赫金斯;M·R·赖斯;G·E·维卡 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一般地，提供了一种用于观察处理系统内的图像的方法和装置。在一个实施例中，一种装置包括一个板，该板使照相机、发送器和电池与其连接。该板适于通过衬底传输自动机械在半导体处理系统周围传输，从而允许从距离系统较远处观察系统内的图像。被观察的图像可以用于自动机械位置的系统检查和校准，以及其他用途。 | ||
| 搜索关键词： | 视觉 系统 | ||
【主权项】：
1.装置，包括：一个板，适于由一个衬底传输自动机械在一个半导体处理系统的周围传输；连接到所述板的一台照相机；连接到所述板的第一侧面的一个发送器，用于产生表示所述照相机所观察到的物体的一个信号；以及连接到所述板的一个电池，用于为所述发送器供电。
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