[发明专利]等离子体辅助消除结晶无效
申请号: | 03810276.5 | 申请日: | 2003-05-07 |
公开(公告)号: | CN1653869A | 公开(公告)日: | 2005-08-10 |
发明(设计)人: | S·库马尔;D·库马尔 | 申请(专利权)人: | 达纳公司 |
主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46;H01J37/32 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 杨晓光;李峥 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供了用于使物体表面至少部分消除结晶而激发、调节和维持等离子体的方法和装置。在一个实施例中,提供了通过形成等离子体(例如使气体受到一定的电磁辐射,可选择在等离子体催化剂存在的情况下)并将物体表面暴露在等离子体中来使物体表面消除结晶的方法。 | ||
搜索关键词: | 等离子体 辅助 消除 结晶 | ||
【主权项】:
1.一种使物体表面消除结晶的方法,该方法包括:将所述表面暴露在等离子体中一段足够长的时间以使所述表面至少部分消除结晶。
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