[发明专利]固体电解质开关元件及使用其的FPGA、存储元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种即使切断电源也能保持导通或断开状态，能降低在导通状态下的电阻，实现集成化，并且能够再编程的固体电解质开关元件及使用其的FPGA、存储元件及其制造方法。固体电解质开关元件(10、10′、20、20′)，其特征在于具有：用绝缘层来覆盖表面的基片(11)、布置在基片(11)上的第1布线层(13)、布置在第1布线层(13)上的离子供给层(17)、设置在离子供给层(17)上的固体电解质层(16)、布置成对第1布线层(13)、离子供给层(17)和固体电解质层(16)进行覆盖，并具有导通孔的层间绝缘层(12)、通过层间绝缘层(12)的导通孔而布置成与固体电解质层(16)相接触的对置电极层(15)、以及布置成对对置电极层(15)进行覆盖状态的第2布线层(14)。能够提供利用离子供给层(17)和对置电极层(15)之间所加的阈值电压来任意设定导通状态和断开状态，是非挥发性，而且导通状态电阻小的开关元件。并且，因为本发明的开关元件结构简单，微细，所以，与现有的开关元件相比能够大幅度地提高微细化。若把本发明的开关元件使用于FPGA(30)的开关元件，则能够提供能够再编程式而且动作速度快的FPGA(30)。并且，若把本发明的开关元件使用于存储元件的存储媒体中，则能够提供写入和读出速度快的非挥发性存储元件(50)。

主权项

1、一种固体电解质开关元件，其特征在于具有：用绝缘层来覆盖着表面的基片、布置在该基片上的第1布线层、布置在该第1布线层上的离子供给层、设置在该离子供给层上的固体电解质层、布置成对上述第1布线层、上述离子供给层和上述固体电解质层进行覆盖的、并具有导通孔的层间绝缘层、通过该层间绝缘层的导通孔而布置成与上述固体电解质层相接触的对置电极层、以及布置成对该对置电极层进行覆盖状态的第2布线层。