[发明专利]校准激光标记系统中的标记的方法有效
| 申请号： | 03809410.X | 申请日： | 2003-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN1650428A | 公开（公告）日： | 2005-08-03 |
| 发明（设计）人： | 金炳焕;李晸求;边英植;权九彻;金泰政 | 申请（专利权）人： | EO技术株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱进桂 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 在用于校准激光标记系统中的标记的方法中，(a)将要观察的每个芯片分配给相应的视觉照相机，(b)匹配视觉照相机的坐标和激光标记器的坐标，(c)将预定的第一符号标记在芯片上或者标记在与芯片相对应的位置，利用相应的视觉照相机观察所选择的第一符号，并将所述第一符号的一点训练为基准点，(d)利用相应的视觉照相机观察所述第一符号和所述芯片的基准点，并相对于所述基准点，在所述芯片上标记第二符号，(e)观察所述芯片上的第二符号，并将所述第二符号的一点训练为比较点，以及(f)根据所述芯片上的所述基准点，检测所述比较点的位置，并计算每个单元中的标记误差。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 激光 标记 系统 中的 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于校准激光标记系统中的标记的方法，所述激光标记系统包括：激光标记器，在利用多个视觉照相机观察包含在托架的单元内的芯片的同时，进行标记；以及后视觉照相机，检测标记误差，所述方法包括以下步骤：(a)将要观察的每个芯片分配给相应的视觉照相机；(b)匹配视觉照相机的坐标和激光标记器的坐标；(c)将预定的第一符号标记在芯片上或者标记在与芯片相对应的位置，利用相应的视觉照相机观察所选择的第一符号，并将所述第一符号的一点训练为基准点；(d)利用相应的视觉照相机观察所述第一符号和所述芯片的基准点，并相对于所述基准点，在所述芯片上标记第二符号；(e)观察所述芯片上的第二符号，并将所述第二符号的一点训练为比较点；以及(f)根据所述芯片上的所述基准点，检测所述比较点的位置，并计算每个单元中的标记误差。
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