[发明专利]包括多个堆叠的矩阵可寻址存储器件的立体数据存储装置无效

专利信息
申请号: 03806615.7 申请日: 2003-03-21
公开(公告)号: CN1643616A 公开(公告)日: 2005-07-20
发明(设计)人: G·I·莱斯塔;H·G·古德森 申请(专利权)人: 薄膜电子有限公司
主分类号: G11C11/22 分类号: G11C11/22;G11C5/02;H01L27/01;H01L23/48
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 杨凯;张志醒
地址: 挪威*** 国省代码: 挪威;NO
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摘要: 在包含多个堆叠的矩阵可寻址存储器件(M)的立体数据存储装置中,提供电极部件(E),以便交替形成存储器件的字线和位线部件(WL;BL),因而电极部件的数量比存储器件的数量只多一。此外,邻接电极部件(Ek,Ek+1)以这样的方式设置,以便提供能够切换到两个或两个以上方向的存储单元(6)的高比例,从而在被寻址时产生高出许多的输出并且具有改善的信噪比。各存储器件(M)因具有密集电极排列而能具备接近一的可得到的存储单元填充系数,半数存储单元可能可以切换到两个或两个以上方向,使得其填充系数在任何情况下都将接近0.5。因此,可实现具有极高存储密度的立体数据存储装置,同时可消除先有技术堆叠存储器件遇到的若干问题。
搜索关键词: 包括 堆叠 矩阵 寻址 存储 器件 立体 数据 装置
【主权项】:
1.一种包括多个堆叠的矩阵可寻址存储器件(M)的立体数据存储装置,其中各存储器件(Mk,k∈1,2...n)包括第一和第二电极部件(Ek;Ek+1),其形式为带有平行电极(εk;εk+1)的相应层,所述平行电极(εk;εk+1)分别形成所述存储器件(Mk)的字线(WLk)和位线(BLk)以用于其矩阵寻址,所述字线(WL)的方向与所述位线(BL)垂直以用于存储器件(M)的矩阵寻址,其中各存储器件(Mk)包括设置在所述第一与第二电极部件(Ek;Ek+1)之间、与其直接或间接接触的存储材料层(4k),其中第二电极部件(Ek+1)形成叠层中后续存储器件(Mk+1)的第一电极部件,因而电极部件(E)的数量变成比所述叠层中的存储器件(M)的数量多一,其中所述存储材料是能够呈现滞后现象的可极化介质材料、最好是铁电或驻极体材料,以及其中存储单元(6)被定义在所述字线(WL)与所述位线(BL)的交叉点之上或之间的存储器件(Mk)的存储材料(4k)中,其特征在于,各电极部件(E)的电极(ε)设置成密集排列方式,并通过其间的阻挡层(2a)互相绝缘,所述阻挡层的厚度δ仅为所述电极宽度(w)的几分之一,因此电极部件(E)中电极(ε)的面积填充系数接近一;朝向相邻后续电极部件(Ek+1)的电极部件(Ek)的顶面设有平行凹槽(3),所述凹槽(3)的方向垂直于所述电极(εk)并且相互间隔与所述电极宽度w相当的距离,所述平行凹槽(3)的横截面形状与所述电极(ε)的横截面形状相符;所述相邻后续电极部件(Ek+1)的每隔一个电极设置成向下延伸到所述相邻在前电极部件(Ek)中形成的所述凹槽(3)中;在各电极部件(E)上的层(4)中提供存储材料,覆盖其表面和至少侧壁,以及可选地覆盖其中所述凹槽(3)的底部;以及延伸到所述凹槽(3)中的所述电极(εk+1)与所述相邻在前电极部件(Ek)的垂直交叉电极(εk)结合,在所述凹槽(3)中提供的所述存储材料中定义具有至少两个切换方向的存储单元(6),因此所述立体数据存储装置具备极高的存储密度,各存储器件(M)的各存储层(4)的存储单元填充系数接近所述电极部件(E)的电极(ε)的面积填充系数的值,以及存储材料层(4)中每隔一个所述存储单元(6)能够被切换到至少两个方向。
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