[发明专利]图像形成方法和装置有效
| 申请号： | 03804425.0 | 申请日： | 2003-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN1639642A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 托布乔恩·桑德斯特罗姆 | 申请（专利权）人： | 麦克罗尼克激光系统公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 黄小临;王志森 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 一种对在图像平面排列且用电磁辐射敏感层至少部分覆盖的工件形成图案的装置，该装置包括：发送电磁辐射到目标平面的源；包括多个开－关对象象素的SLM，适于接收并按照输入图案描述调制在所述目标平面的所述电磁辐射，并将所述电磁辐射传递到所述工件；同步器，用来将所述工件的运动和从所述SLM到所述工件传递的图案描述同步；以及在所述SLM和所述工件之间排列的图像偏转组件，适于偏转所述传递的图案描述。所述装置也包括扫描组件，用来在所述辐射敏感材料上扫描来自所述辐射源的至少一束光。所述SLM在扫描期间按照输入图案数据文件调制所述至少一束光，其中所述光束的调制在所述工件上产生相干子图像，并且数个子图像不相干地叠加以产生最终图像。本发明同样也涉及一种对工件形成图案的方法以及同一类的工件。 | ||
| 搜索关键词： | 图像 形成 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种对在图像平面排列且用电磁辐射敏感层至少部分地覆盖的工件形成图案的装置，包括：发送电磁辐射到目标平面的源；包括多个开-关对象象素的SLM，适于接收并按照输入图案描述调制在所述目标平面的所述电磁辐射，并将所述电磁辐射传递到所述工件；同步器，用来将所述工件的运动和从所述SLM到所述工件传递的图案描述同步；以及在所述SLM和所述工件之间排列的图像偏转组件，适于偏转所述传递的图案描述。
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