[发明专利]压电元件、液体喷出头及它们的制造方法有效
| 申请号： | 03803684.3 | 申请日： | 2003-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN1630949A | 公开（公告）日： | 2005-06-22 |
| 发明（设计）人： | 村井正己 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/24;B41J2/045;B41J2/055;B41J2/16 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电元件及液体喷出头，该压电元件具有振动板(30)、在前述振动板上形成规定布线图案的下部电极(42d)、形成在前述下部电极上的压电薄膜(43)、形成在前述压电薄膜上的上部电极(44)，在前述压电薄膜的附近设有金属层(42b)，该金属层(42b)与形成在前述振动板上的前述下部电极及前述上部电极电隔离。下部电极与金属层之间的间隔为200μm以下。由此，即使在下部电极端部附近，压电薄膜的结晶性也很好，因此可耐高电压，可靠性更高。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 液体 喷出 它们 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电元件，具有振动板、在前述振动板上形成规定布线图案的下部电极、形成在前述下部电极上的压电薄膜、形成在前述压电薄膜上的上部电极，其特征在于，在前述压电薄膜的附近设有金属层，该金属层与形成在前述振动板上的金属层，即前述下部电极电隔离。
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