[发明专利]产生电感耦合等离子体的设备及其方法

摘要

产生电感耦合等离子体的设备及其方法，其中线圈一致且分散地排列在一个腔室的侧壁上，替代在现有设备中的安装在腔室的一个外壁上的永久磁铁，这样放置线圈以允许线圈形成的磁场在线圈的中心部分互相增强，这样腔室内产生的带电粒子相对腔室的侧壁有效分隔，由此可以产生高密度和高一致性的等离子体。施加到线圈的电源的强度和频率可以调节使得能够根据使用等离子体的蚀刻或沉积处理中所需的处理特性，调整腔室内产生的等离子体的密度和一致性，这样，为使用等离子体的处理提供了灵活性，且新方法的设计可不受处理腔室配置的限制。由于省掉了永久磁铁，本发明在结构上进行了简化，因此极大地降低了制造成本。

主权项

1.一种产生等离子体的设备，该设备包括：一个高频电源；从所述高频电源接收高频能量的一个天线；包含由所述天线制造的电磁场而产生的等离子体的一个腔室；沿所述腔室的侧壁一致且分散排列的一个线圈；给所述线圈提供电能的线圈电源，其中所述线圈产生电磁场用于从所述腔室的侧壁分隔所述等离子体，防止在所述腔室内产生的等离子体与所述腔室的侧壁发生反应。