[发明专利]用于检测粒子束的检测器及其制造方法有效
| 申请号： | 03802732.1 | 申请日： | 2003-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN1623105A | 公开（公告）日： | 2005-06-01 |
| 发明（设计）人： | 埃莱尼·贝尔德曼;维姆·德伯尔 | 申请（专利权）人： | 重离子研究有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/24 | 分类号： | G01T1/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 夏青 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检测高强度和高能粒子束(2)的检测器及其制造方法，该检测器包括一个具有金属涂层(4)的晶体半导体板(3)，并且其设置在基片(5)上，半导体板(3)是金刚石板(6)，在金刚石板两面都以金属结构(7、8)覆盖。金属结构(7、8)包括铝和/或铝合金，并形成若干个电极，设置这些电极以通过基片(5)上的导体线与各个电势连接，基片(5)是具有中心孔(24)的陶瓷板(11)，该中心孔被金刚石板(6)盖住。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 粒子束 检测器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测高强度和高能粒子束(2)的检测器，包括具有金属涂层(4)的晶体半导体板(3)，并且设置在基片(5)上，其特征在于：该半导体板(3)是金刚石板(6)，其两面都用金属结构(7、8)覆盖，金属结构(7、8)包括铝和/或铝合金，并且金属结构(7、8)包括若干个电极(9)，电极(9)被设置成通过基片(5)上的导体线(10)与各个电势连接，并且该基片(5)包括具有中心孔(24)的陶瓷板(11)，该中心孔(24)被金刚石板(6)盖住。
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