[发明专利]光波导管的制造方法无效
| 申请号： | 03800527.1 | 申请日： | 2003-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN1522377A | 公开（公告）日： | 2004-08-18 |
| 发明（设计）人： | 立畠直树 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/136 | 分类号： | G02B6/136 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李贵亮;杨梧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种光波导管的制造方法，在芯子层表面设置掩膜、接着进行干腐蚀，其中，干腐蚀工序包括腐蚀和灰化。这样在制造光波导管时形成在芯子图形外周部的凹凸被消除，能提供光传递损失小的光波导管。 | ||
| 搜索关键词： | 光波 导管 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种在第一包层上具有芯子的光波导管的制造方法，其特征在于，包括：形成工序，在所述第一包层上形成芯子层；形成掩膜工序，在所述芯子层的表面形成掩膜图形；芯子腐蚀工序，用干腐蚀把所述芯子层进行布图，所述芯子腐蚀工序具有腐蚀工序和灰化工序。
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