[发明专利]探测片搬送装置及被接合体移动机构

摘要

探测片搬送装置(50)，具有用于把附带片保持体(56)的探测片(52)搬送到探测器室(51)内的台钳机构(55)的移动机构。该移动机构在通过第1个定位销(55A)装卸附带片保持体的探测片(52)的时候，使用搭载附带片保持体的探测片的支持体(541)。该支持体(541)使被自由摇动地支持的部件(543A)所支持的第2个定位销(542)与设置在片保持体(56)的第2个开口部(56B)嵌合。第2个定位销(542)具有球形的前端部(542A)。

主权项

1.一种探测片搬送装置，其特征在于，其在设定于探测器室内的第1个规定位置L1和设定于探测器室外的第2个规定位置之间，搬送附带片保持体的探测片，该探测片搬送装置具有：设置在该探测器室内的该第1个规定位置的第1个定位用结合用具；在设定于该探测器室内的交接位置和探测器室外的第2个规定位置之间，移送该附带片保持体的探测片，并在各规定位置进行交接而构成的交接机构，该片保持体具有第1个定位用被结合用具和第2个定位用被结合用具；将该附带片保持体的探测片在探测器室内的该交接位置和探测器室内的该第1个规定位置之间移送而构成的支持体移送机构；该支持体移送机构具有：为承载并支持该附带片保持体的探测片而构成的支持体；在该支持体上通过自由摇动的支持机构安装的第2个定位用结合用具；使该支持体向X、Y、Z及θ方向移动而构成的支持体移动机构，该支持体移动机构在探测器室内的该交接位置和该第1个规定位置之间移送该附带片保持体的探测片，在此，由该支持体移动机构移送的附带片保持体的探测片，通过其第1个定位用被结合用具与该第1个定位用结合用具相结合，该附带片保持体的探测片定位在探测器室内的第1个规定位置。