[实用新型]微光电子机械系统气密封装夹具无效
| 申请号： | 03280287.0 | 申请日： | 2003-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN2656396Y | 公开（公告）日： | 2004-11-17 |
| 发明（设计）人： | 陈四海;刘胜;易新建;李静文;张鸿海;陈明祥;王志勇 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学机械科学与工程学院 |
| 主分类号： | B81C5/00 | 分类号： | B81C5/00;H01L21/68;H01L21/56 |
| 代理公司： | 北京金信联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王鸿谋 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 微光电子机械系统气密封装夹具，包括支架(1)、基座(4)、微调架(5)、加压板(10)、升降装置(11)、衬底安放台(8)和帽层安放台(9)；支架(1)包括底板(2)、立柱(3)、加强筋(2A)，立柱(3)垂直装在所述底板(2)上，加强筋(2A)倾斜地装于立柱(3)后侧，其底端固定在所述底板(2)上，底板(2)装在基座(4)上，在立柱(3)的前侧面上具有齿条(3A)；微调架(5)装在基座(4)上；装有加压板(10)的升降装置(11)可移动地装在支架(1)的立柱(3)上；在加压板(10)上，用螺栓(15)弹性地装有帽层安放台(9)；衬底安放台(8)位于微调架(5)上；衬底安放台(8)上带有压力传感器(7)。本实用新型能保证封装的高质量和封装的高生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 微光 电子机械 系统 气密 封装 夹具 | ||
【主权项】：
1、微光电子机械系统气密封装夹具，其特征是：它包括支架(1)、基座(4)、微调架(5)、加压板(10)、升降装置(11)、衬底安放台(8)和帽层安放台(9)；所述支架(1)包括底板(2)、立柱(3)、加强筋(2A)，所述立柱(3)垂直装在所述底板(2)上，所述加强筋(2A)倾斜地装于所述立柱(3)后侧，其底端固定在所述底板(2)上，所述底板(2)装在所述基座(4)上，在所述立柱(3)的前侧面上具有齿条(3A)；所述微调架(5)装在所述的基座(4)上；装有所述加压板(10)的升降装置(11)可移动地装在所述支架(1)的立柱(3)上；在所述加压板(10)上，用螺栓(15)弹性地装有所述帽层安放台(9)；所述衬底安放台(8)位于所述微调架(5)上；所述衬底安放台(8)上带有压力传感器(7)。
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