[实用新型]立式加热炉的专用炉体无效
| 申请号： | 03272535.3 | 申请日： | 2003-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN2636178Y | 公开（公告）日： | 2004-08-25 |
| 发明（设计）人： | 钟华;孙妍;杨进维;陈江荣 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B5/00 | 分类号： | F27B5/00 |
| 代理公司： | 北京连城创新专利代理有限公司 | 代理人： | 刘伍堂 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种立式加热炉的专用炉体，该炉体用于集成电路制造过程中对硅片进行加热、扩散、氧化处理。它包括加热部分、保温部分、冷却部分和固定部分，加热部分由加热器组成。整个炉体垂直地面放置，上端用炉体上端盖封闭，下端有一进料口，炉体中部有加热器，加热器由炉丝绕制而成，炉丝在炉体两端与中间的间隔不同，炉丝分为五段分别独立控温，它占地面积小，能更有效的利用空间，且恒温区长，控温更加精确，处理后的片子的质量更好，成品率高，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 加热炉 专用 | ||
【主权项】：
1.一种立式加热炉的专用炉体，包括加热部分、保温部分、冷却部分和固定部分，加热部分主要由加热器组成，其特征在于：炉体垂直地面放置，上端用炉体上端盖(7)封闭，下端有一进料口(12)，炉体中部有加热器，加热器由炉丝(2)绕制而成，炉丝(2)在炉体两端与中间的间隔不同，炉丝(2)分段分别独立控温，每段炉丝(2)都连接有炉丝引线(3)。
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