[实用新型]一种金属均匀颗粒发生器

摘要

一种金属均匀颗粒发生器，由石英玻璃容器、坩埚、压电激励发生器、热电偶、加热装置、保护气体供给管路、振荡发生器、电极板及内装冷却液的容器所组成；压电激励发生器装置于坩埚顶口部，振荡发生器置于坩埚内下部，热电偶和保护气体供给管路分别插入坩埚，坩埚底端部有喷嘴，电极板置于坩埚底端部喷嘴的外部下方，电极板相对坩埚底端部的喷嘴处有开口，坩埚与电极板间有电位差，装有冷却液体的容器置于电极板开口的正下方；上述装置置于抽真空的石英玻璃容器内。本实用新型的优越性在于：能生产单一尺寸的金属或合金的均匀球状颗粒，颗粒之间的物理和化学性能高度一致，可以应用在集成电路的焊接上，极大地提高电子系统的一致性，应用前景广阔。

主权项

1、一种金属均匀颗粒发生器，其特征在于该装置由石英玻璃容器、坩埚、压电激励发生器、热电偶、加热装置、保护气体供给管路、振荡发生器、电极板及内装冷却液的容器所组成；所说的压电激励发生器装置于坩埚顶口部，与压电激励发生器相连接的振荡发生器置于坩埚内下部，热电偶和保护气体供给管路分别从坩埚两侧上方插入，加热装置置于坩埚侧壁外围，坩埚底端部有一微孔，微孔处装有喷嘴，电极板置于坩埚底端部喷嘴的外部下方，电极板与坩埚底部平行且相对坩埚底端部的喷嘴处有开口，坩埚与电极板间有电位差，装有冷却液体的容器置于电极板开口的正下方；所说的上述装置置于抽真空的石英玻璃容器内。