[实用新型]制作有机电致发光薄膜用的真空蒸发加热装置无效
| 申请号： | 03255630.6 | 申请日： | 2003-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN2632980Y | 公开（公告）日： | 2004-08-11 |
| 发明（设计）人： | 张志林;叶如华;王全坤 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200072*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的真空蒸发加热装置属于真空薄膜技术和发光显示的领域，其中的一种由金属珠(1)、石英坩埚(2)、高频感应线圈(3)、升华型OEL材料(4)、陶瓷线圈骨架(5)和隔热材料(6)构成，采用高频感应加热蒸发；另一种由金属珠(1′)、石英坩埚(2′)、铜质电极(3′)和升华型OEL材料(4′)构成，采用交流工频电压加热蒸发。采用本实用新型提供的任何一种真空蒸发加热装置加热蒸发，均可以避免真空加热蒸发时升华型OEL材料(4)的跳跃和飞溅现象，从而防止了真空室的污染以及跳跃和飞溅出来的微小颗粒粘着在基板上的可能，保证了成膜质量和产品的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 有机 电致发光 薄膜 真空 蒸发 加热 装置 | ||
【主权项】：
1、制作有机电致发光薄膜用的真空蒸发装置，其中的一种由金属珠(1)、石英坩埚(2)、高频感应线圈(3)、升华型OEL材料(4)、陶瓷线圈骨架(5)和隔热材料(6)构成，调节高频电源的电压进行真空加热蒸发；另一种由金属珠(1′)、石英坩埚(2′)、铜质电极(3′)和待蒸发的升华型OEL材料(4′)构成，调节工频电源的电压进行真空加热蒸发。其特征在于；①所说的金属珠(1、1′)采用φ1mm的钢珠、钼珠、或敷有金属膜的石英珠；②所说的金属珠(1、1′)是加在待蒸发的升华型OEL材料(4、4′)的上部的；③所说的高频感应线圈(3)是用φ0.5mm多股漆包线挠在陶瓷线圈骨架(5)上而成的。
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