[实用新型]倾斜下电极式光开关的闩锁

摘要

本实用新型属于微光机电器件，涉及一种微机械光开关的闩锁包括：微反射镜1、悬臂2、下层基片3，固定梳齿4、可动梳齿5、锚点6、闩7位于下层基片3的上方，倾斜下电极8、倾斜绝缘层9、水平下电极10及水平绝缘层11，其中固定梳齿4、锚点6与下层基片3接触，可动梳齿5和闩7悬浮在下层基片3的上方并有间隙；固定梳齿4、可动梳齿5、锚点6位于悬臂2的下方两侧，闩7的一部分位于悬臂2下方两侧，闩7的另一部分靠近悬臂(2)下方；固定梳齿4与可动梳齿5交叉耦合。本实用新型使光开关在“开”和“关”的瞬间动作，其它时间均处于自然状态。保证光开关只在反射与通光变换时加电压，解决了能耗高的问题。具有节省能量、位移－电压线性关系好的优点。

主权项

1、倾斜下电极式光开关的闩锁，它包括：微反射镜(1)、悬臂(2)、下层基片(3)、倾斜下电极(8)、倾斜绝缘层(9)、水平下电极(10)及水平绝缘层(11)，倾斜下电极(8)及倾斜绝缘层(9)位于悬臂(2)的正下方，倾斜绝缘层(9)位于倾斜下电极(8)上方并与之接触，倾斜下电极(8)位于下层基片(3)上方并与之接触，水平下电极(10)位于下层基片(3)上方并与之接触，水平绝缘层(11)位于水平下电极(10)方并与之接触，其特征在于还包括有：固定梳齿(4)、可动梳齿(5)、锚点(6)、闩(7)，固定梳齿(4)、可动梳齿(5)、锚点(6)、闩(7)位于下层基片(3)的上方，其中固定梳齿(4)、锚点(6)与下层基片(3)接触，可动梳齿(5)和闩(7)悬浮在下层基片(3)的上方并有一定间隙；固定梳齿(4)、可动梳齿(5)、锚点(6)位于悬臂(2)的下方两侧，闩(7)的一部分位于悬臂(2)的下方两侧，闩(7)的另一部分靠近悬臂(2)的下方；固定梳齿(4)与可动梳齿(5)交叉耦合。