[实用新型]一种非对称爪型干式真空泵

摘要

一种尤其适用于半导体加工行业使用的非对称爪型真空泵，它在具有泵壳，主、从动轴，主、从动齿轮结构的真空泵基础上，沿主、从动轴轴身延长方向分别设有主、从动转子，其形态相同大小不等，转子上的爪数2～6只，爪间夹角相等，爪形线由圆弧、摆线、直线以及它们的包络线连接而成，由此构成的转子对间还设有具有吸、排口的隔板，相邻转子对沿轴断面的圆周方向以30～90°夹角设置，此泵相对现有技术具有容积利用系数大，真空度高，结构简单，耗能少，噪声小，成本低的优点。

主权项

1.一种非对称爪型干式真空泵，泵壳内横向设有主动轴、从动轴，主动轴齿轮和与其啮和的从动轴齿轮，其特征是沿主动轴、从动轴轴身延长方向分别设有相互啮合的主动转子、从动转子和由其构成的转子对间设有用于隔断的空心隔板，此板侧壁各设有吸气口和排气口；两种转子形态相同，大小不等，转子上的爪数2～6只，爪与爪之间夹角相等，爪形线由圆弧、摆线、直线以及它们的包络线连接而成；相邻转子对沿轴断面的圆周方向以30～90°夹角设置，轴上转子对的数量依真空程度大小增减。