[实用新型]连续式蒸镀溅镀机无效
| 申请号： | 03219715.2 | 申请日： | 2003-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN2602034Y | 公开（公告）日： | 2004-02-04 |
| 发明（设计）人： | 林政乾;戴明光;马伟平 | 申请（专利权）人： | 林政乾;戴明光;马伟平 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/34 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215011江苏省苏州市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种连续式蒸镀溅镀机，包括真空镀膜机，所述真空镀膜机的两端分别密封连接在若干个进件真空过渡室和出件真空过渡室，每个进件真空过渡室和出件真空过渡室均安装有抽真空装置，进件真空过渡室、真空镀膜机和出件真空过渡室之间贯通有工件输送导向装置，每个室与室之间均设有密封移门装置；本实用新型可以使真空镀膜机始终处于真空状态，实现连续工作，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 式蒸镀溅镀机 | ||
【主权项】：
1.一种连续式蒸镀溅镀机，包括真空镀膜机(1)，其特征在于：所述真空镀膜机(1)的工件进口(2)和工件出口(3)上分别密封连接在若干个进件真空过渡室(4)和出件真空过渡室(5)，每个进件真空过渡室(4)和出件真空过渡室(5)均安装有抽真空装置(6)，进件真空过渡室(4)、真空镀膜机(1)和出件真空过渡室(5)之间贯通有工件输送导向装置(7)，每个进件真空过渡室(4)之间、进件真空过渡室与真空镀膜机(1)之间、真空镀膜机(1)与出件真空过渡室(5)之间、每个出件真空过渡室(5)之间均设有密封移门装置(8)。
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