[实用新型]薄膜表面微观不平度测试仪

摘要

本实用新型涉及一种薄膜表面微观不平度测试仪，包括分叉光纤，光源，光谱分析仪，信号处理器，移动台。将薄膜固定在移动台上，光源发出的光进入分叉光纤的输入端，从分叉光纤的探测端射出至待测薄膜表面，探测端接收薄膜前后表面的反射光束，并将此反射光束经由分叉光纤传递给光谱分析仪，光谱分析仪将反射光束的光谱信号处理结果送至信号处理器，信号处理器将处理结果输出至输出装置。通过移动台的移动连续采集薄膜表面的信息数据，达到测量其微观不平度的目的。采用了非接触光学测量方法，由此克服了接触式测试仪器对薄膜表面的伤害；采用了光谱分析技术，和以往的非接触光学干涉条纹测试方法相比较，测试精度大大提高，降低了测量误差。

主权项

1、一种薄膜表面微观不平度测试仪，包括分叉光纤(1)，光源(2)，光谱分析仪(3)，信号处理器(4)，可固定薄膜(8)的移动台(5)，输出装置(6)，其特征在于：分叉光纤(1)分为输入端、输出端和检测端，分叉光纤(1)的输入端接收光源(2)发出的光，探测端(7)将输入端接收到的光信号射出到薄膜(8)上，再由探测端(7)接收薄膜(8)上下表面的反射光信号，并由分叉光纤(1)的输出端将此反射光信号传递给光谱分析仪(3)，将光谱分析仪(3)的结果传递给信号处理器(4)，将处理结果输出至输出装置(6)。