[实用新型]一种生产泡沫镍金属化的溅射阴极靶材结构无效
| 申请号： | 03211969.0 | 申请日： | 2003-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN2615146Y | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 王毓民;方彦忠 | 申请（专利权）人： | 沈阳金昌普新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/08 |
| 代理公司： | 沈阳科威专利代理有限责任公司 | 代理人： | 于菲 |
| 地址： | 110179辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种生产泡沫镍金属化的溅射阴极靶材结构，它包括靶体，在靶体的上面安装有镍靶材，其特征在于靶体的上面装有隔板，隔板与靶体之间装有密封圈，靶材放在隔板上，由多块拼接而成，四周装有压板，压板与靶体之间用螺栓固定。由于靶材设置在蚀刻区域内，在溅射时，周边的压板没有受到蚀刻，所以不用更换，这样可以节省大量的镍材料。其次是靶体与靶材之间装有隔板，采用了间接水冷的方式，靶材不直接承受冷却水的压力，所以对于其致密性和强度的要求都大大降低，因此不仅可以使用轧制的镍板，同时可以使用铸造或电解镍材，使生产的成本得到降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产 泡沫 金属化 溅射 阴极 结构 | ||
【主权项】：
1、一种生产泡沫镍金属化的溅射阴极靶材结构，它包括靶体，在靶体的上面安装有镍靶材，其特征在于靶体的上面装有隔板，隔板与靶体之间装有密封圈，靶材放在隔板上，由多块拼接而成，四周装有压板，压板与靶体之间用螺栓固定。
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