[实用新型]成膜装置、液滴吐出装置、具有滤色片的显示装置

摘要

本实用新型提供了在用喷墨头那样的液滴吐出头吐出液状材料进行成膜的情况下，可以减少由液状材料的吐出量的不均一造成的不均匀的装置和方法。此外，还提供了在利用液状材料的吐出的成膜技术中，即使对于各种的对象物也可以在抑制成本的增大的同时提高处理效率的装置和方法。在制造滤色片的情况下，使滤色片单体材料成为液滴后地液滴吐出头22的喷嘴27对各个滤色片单体形成区域7吐出。在该情况下，对于某一色的滤色片单体材料来说，使液滴吐出头22对母基板12的长边方向L进行扫描，对于其它的色的滤色片单体材料来说，则使液滴吐出头22在母基板12的短边方向M上进行扫描。

主权项

1.一种成膜装置，该装置是具有对对象物的表面吐出液状材料的液滴的液滴吐出装置，和使上述对象物与上述液滴吐出装置沿着上述表面进行相对移动的移动装置的成膜装置，其特征在于：其构成为可以使上述液滴吐出装置对上述对象物沿着上述表面的彼此不同的至少2个方向相对地移动，并且，在上述2个方向的任一方向的移动中，均可依次吐出多滴上述液滴。