[发明专利]固体摄像装置无效
| 申请号： | 03159327.5 | 申请日： | 2003-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN1497953A | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 绫部昌之;山下浩史;井上郁子;江木雄一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | H04N5/335 | 分类号： | H04N5/335;H01L27/14;H01L27/148 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 包于俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种固体摄像装置，具备：单位单元，该单位单元具有在半导体基片表面上排列成行、列状并且产生并积蓄对应于入射光的信号电荷的光电二极管以及用于读出所述光电二极管的信号电荷的读出电路部；形成于所述半导体基片上并且内部设置布线层的层间膜；形成在所述层间膜上并且在所述单位单元的光电二极管上方具有开口部的水平方向遮光膜；设置在列方向上相邻的所述单位单元之间的第1垂直方向遮光壁；以及设置在行方向上相邻的所述单位单元之间的第2垂直方向遮光壁，所述第1以及第2垂直方向遮光壁埋入在所述半导体基片表面与所述水平方向遮光膜之间的所述层间膜内。 | ||
| 搜索关键词： | 固体 摄像 装置 | ||
【主权项】：
1.一种固体摄像装置，其特征在于，具备单位单元，该单位单元具有在半导体基片表面上排列成行、列状并且产生并积蓄对应于入射光的信号电荷的光电二极管以及用于读出所述光电二极管的信号电荷的读出电路部；层间膜，形成于所述半导体基片上并且内部设置布线层；水平方向遮光膜，形成在所述层间膜上并且在所述单位单元的光电二极管上方具有开口部；第1垂直方向遮光壁，设置在列方向上相邻的所述单位单元之间；以及第2垂直方向遮光壁，设置在行方向上相邻的所述单位单元之间，所述第1以及第2垂直方向遮光壁埋入在所述半导体基片表面与所述水平方向遮光膜之间的所述层间膜内。
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