[发明专利]全氟化物废气处理方法有效
| 申请号： | 03158414.4 | 申请日： | 2003-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN1593723A | 公开（公告）日： | 2005-03-16 |
| 发明（设计）人： | 郑石治 | 申请（专利权）人： | 华懋科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/70 | 分类号： | B01D53/70 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈桢 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种全氟化物废气处理方法，可以利用等离子反应器于反应过程中产生的热能，将液态水转换为水蒸气后，其产生的水蒸气直接引入等离子反应器参与等离子束流的反应，如此，亦可降低燃烧过程中反应腔的高热问题。此外，本发明亦设置一燃烧室与反应室相连，将空气引入燃烧室中与氢气混合燃烧，可处理大量全氟化物废气燃烧过程中所产生的氢气。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化物 废气 处理 方法 | ||
【主权项】：
1、一种全氟化物废气处理方法，其特征在于，包含：(a)全氟化物废气与水蒸气通过等离子火炬进入反应腔瞬间被热解形成废气产物，其所述水蒸气经由环绕所述反应腔的水蒸气管组所提供；(b)一燃烧室引入外界空气，使所述空气可在所述燃烧室内与所述废气产物反应；(c)经由一水槽组溶解所述废气产物中部分氟化氢并除去在所述水槽组中的所述废气产物中的固体小分子；(d)经由一湿式洗涤塔处理剩余的所述废气产物。
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