[发明专利]石英玻璃坩埚的重整方法有效
| 申请号： | 03154084.8 | 申请日： | 2003-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN1486946A | 公开（公告）日： | 2004-04-07 |
| 发明（设计）人： | 福井正德;佐藤贤 | 申请（专利权）人： | 日本超精石英株式会社 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C30B15/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于给石英玻璃坩埚提供重整方法，其中即使当所述坩埚具有较大尺寸时也能获得优异的重整坩埚。在该方法中，通过环绕转动轴线放置的电极在转动此坩埚的同时加热此坩埚内表面至熔融状态来重整此坩埚。该方法的特征是，采用这样的电极结构，使相邻电极依固定间隔放置成环形构型，于相邻电极间形成环形电弧而不于跨过该环形的中央部分相互面对的电极间产生连续电弧，使待熔融的坩埚内表面加热，同时除去该内表面上的杂质或该内表下的气泡。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 坩埚 重整 方法 | ||
【主权项】：
1.石英玻璃坩埚的重整方法，其中所述石英玻璃坩埚是以下述方式重整：由围绕转动轴线放置的电极产生的电弧放电在转动所述石英玻璃坩埚的同时来加热待熔化的坩埚内表面，该重整方法包括：采用一种电极结构，其中彼此相邻的电极按固定的间隔依环形构型放置；形成在彼此相邻电极间产生的稳定的环形电弧，而不在跨过该环形的中央部分相互面对的电极间生成连续电弧；加热拟熔融的坩埚内表面；除去所述内表面上的杂质或该内表面下的气泡。
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