[发明专利]控制光阻分配的方法及其装置无效
| 申请号： | 03152480.X | 申请日： | 2003-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN1484096A | 公开（公告）日： | 2004-03-24 |
| 发明（设计）人： | 钱信宏;朱崇仁 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤;楼仙英 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种控制光阻分配的方法，包括下列步骤：提供具有一旋转盘的涂覆机；提供一晶片；将晶片固定于旋转盘；确认涂覆机的控制板，用以控制旋转盘；确认位于控制板上的至少一节点，用以向旋转盘提供多个控制信号；提供一信号分装置析；将信号分析装置连接到控制板上的节点；在晶片上分布光刻胶；确认第一控制信号，以使旋转盘提供能够破坏光刻胶表面张力的最小旋转速度；测量第一控制信号；在信号分析装置中，显示上述第一控制信号；控制光阻分配的持续时间，以提供均匀的光刻胶厚度，并且节省光刻胶的使用量。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 分配 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种控制光阻分配的方法，包括下列步骤：提供一具有旋转盘的涂覆机；提供晶片；将上述晶片固定在上述旋转盘上；确认上述涂覆机的一控制板，用以控制上述旋转盘；确认位于上述控制板上的至少一个节点，用以给上述旋转盘提供多个控制信号；提供一信号分析装置；将上述信号分析装置连接到上述控制板上的节点；在上述晶片上分布光刻胶；确认第一控制信号，以使上述旋转盘提供能够破坏光刻胶表面张力的最小旋转速度；测量上述第一控制信号；在上述信号分析装置中，显示上述第一控制信号；控制光阻分配的持续时间，用以提供均匀性的光刻胶厚度，并且节省光刻胶的使用量。
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