[发明专利]使激光束扩展而不扩展空间相干性的系统和方法有效
| 申请号： | 03152381.1 | 申请日： | 2003-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN1487364A | 公开（公告）日： | 2004-04-07 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·克拉莫;斯坦利·W·卓兹克维兹 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/10;H01S5/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种扩展激光束发射的光，而不改变空间相干性，或不产生散斑的系统和方法。本系统包括激光光源和有多路复用装置的光学投影系统。该多路复用装置把激光光源发射的光，扩展成多束光强大致彼此相等的光束，而不改变空间相干性。该多路复用装置有多个空间上分离的光束分束器，平行于反射镜放置，并在反射镜的同一侧。本系统还包括照明光学系统和投影光学系统，该照明光学系统会聚该多束光束的每一束，该投影光学系统把被照明光学系统输出光照明的掩模的图像，投射在基片上。 | ||
| 搜索关键词： | 激光束 扩展 空间相干性 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学投影系统，包括激光光源；多路复用装置，用于把所述激光光源发射的光，扩展成多束强度基本上彼此相等的光束，而不改变空间相干性，所述多路复用装置有多个空间上分离的光束分束器，平行于反射镜放置，并在反射镜的同一侧；照明光学系统，用于会聚每一所述多束光束；和投影光学系统，用于把被所述照明光学系统输出光照明的掩模图像，投射在基片上。
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