[发明专利]激光曝光装置有效
申请号: | 03149847.7 | 申请日: | 2003-07-28 |
公开(公告)号: | CN1480799A | 公开(公告)日: | 2004-03-10 |
发明(设计)人: | 本山肇 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G03G15/04 | 分类号: | G03G15/04;G02B26/10;H01S5/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 季向冈 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种激光曝光装置,包括:发射第1激光束的第1激光源;发射比第1激光束的波长短的第2激光束的第2激光源;以及将第1激光束和第2激光束引导到感光体的光学装置;从第2激光束到达所述感光体的光路长度比从第1激光束到达所述感光体的光路长度要长。 | ||
搜索关键词: | 激光 曝光 装置 | ||
【主权项】:
1.一种激光曝光装置,包括:发射第1激光束的第1激光源;发射比第1激光束的波长短的第2激光束的第2激光源;以及将第1激光束和第2激光束引导到感光体的光学装置;从第2激光束到达所述感光体的光路长度比从第1激光束到达所述感光体的光路长度要长。
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