[发明专利]激光光源控制法及其装置、曝光法及其设备和器件制造法

摘要

在存储器中储存预定范围内的激光光源振荡频率的信息，其中预定范围在考虑到了激光光源输出质量之后包含可用的振荡频率，信息例如是关于振荡频率和输出质量之间的关系。然后，当根据储存在存储器中的信息控制激光光源时，规定激光光源输出质量衰减或变得良好的特定频率范围，并且判断使用的振荡频率f是否处于特定的频率范围。然后根据该判断结果设置振荡频率，避开输出质量衰减的频率范围，或是根据判断结果将振荡频率设置到输出质量变为良好的频率范围内。由此可以使用输出质量总是良好的激光光源。

主权项

1.一种控制振荡频率可变的激光光源的激光光源控制法，所述方法包括：获取过程，获得预定范围中所述激光光源的振荡频率信息，其中预定范围在考虑到所述激光光源输出质量的前提下包含一个可用振荡频率；和控制过程，根据获得的所述信息控制所述激光光源振荡时影响振荡环境的振荡环境影响因素。