[发明专利]防止液体回溅的装置有效
| 申请号： | 03148461.1 | 申请日： | 2003-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN1567093A | 公开（公告）日： | 2005-01-19 |
| 发明（设计）人： | 曾士庭;钟昱正;郭丁瑞 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/30;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陈小雯;李晓舒 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种防止一液体回溅至一物体上的装置，尤其是涉及一种应用于显影制作工艺的防止回溅装置，其至少包括：一旋转器，其上放置上述的物体，利用旋转器的旋转运动，使物体与液体分离；一侧壁，其环绕于旋转器的周围，以防止液体飞溅至侧壁之外；以及一缓冲棉，其贴于侧壁的内侧，以防止液体由侧壁回溅至物体上。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 液体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种防止一液体回溅至一物体上的装置，该液体原本位于该物体内，该装置至少包括：一旋转器，其上放置该物体，并利用该旋转器的旋转运动，使该物体与该液体分离；一侧壁，其环绕于该旋转器的周围，以防止该液体飞溅至该侧壁之外；以及一缓冲棉，其贴于该侧壁的内侧，以防止该液体由该侧壁回溅至该物体上。
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