[发明专利]微细结构体的制备方法，微细空洞结构体的制备方法和液体喷出头的制备方法有效
| 申请号： | 03146787.3 | 申请日： | 2003-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN1475352A | 公开（公告）日： | 2004-02-18 |
| 发明（设计）人： | 久保田雅彦;田川义则;桧山亘;益川龙也;芝昭二;栗原香晓;石仓宏惠;冈野明彦 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 杨宏军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种为了制备便宜、精密、可信度高的液体喷出头的有用的微细结构体和微细空洞结构体的制备方法，还提供一种使用这些微细结构体的制备方法和微细空洞结构体的制备方法的液体喷出头的制备方法和由此得到的液体喷出头。将正型感光性材料作为微细结构体形成用材料使用，所述正型感光性材料含有3元共聚物，所述3元共聚物以丙烯酸酯为主体，含有热交联化用的丙烯酸和用于扩大灵敏度区域的单体单元。 | ||
| 搜索关键词： | 微细 结构 制备 方法 空洞 液体 喷出 | ||
【主权项】：
1、一种微细结构体的制备方法，是在基板上制备微细结构体的方法，所述方法包括以下步骤：在基板上设置正型感光性材料的层的步骤；对所述正型感光性材料的层进行加热处理，使正型感光性材料层交联化的步骤；用能分解所述交联化正型感光性材料的波长区域的致电离射线照射所述交联化正型感光性材料层预定部分的步骤；将所述交联化的正型感光性材料层的致电离射线的照射区域利用显影从基板上除去，在基板上形成由所述交联化正型感光性材料层的致电离射线的非照射区域组成的部分，以此作为具有所希望图案的微细结构体的步骤；其特征在于，所述正型感光性材料含有3元共聚物，所述3元共聚物以甲基丙烯酸甲酯为主要成分，还含有作为热交联因子的甲基丙烯酸与扩大对所述致电离射线的灵敏度区域的因子。
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