[发明专利]微细结构体的制造方法、液体喷出头的制造方法和液体喷出头

摘要

提供使液体流路的3维形状优化，抑制弯曲液面振动，可高速地进行记录液体的再填充的流路形状和制造其喷液头的方法。在已形成了加热器的基板2011上用正型感光材料形成上、下2层结构的液体流路的模图案，对下层来说，在热交联化之后用于液体流路的形成。

主权项

1.一种微细结构体的制造方法，包括以下步骤：在基板上在交联化的状态下设置对第1波长区域的致电离射线感光的第1正型感光材料的层，对该正型感光材料的层进行加热处理，形成由交联化的正型感光材料层组成的下层的步骤；在该下层上设置由对与第1波长区域不同的第2波长区域的致电离射线感光的第2正型感光材料组成的上层，以得到2层结构的步骤；采用向该2层结构的所述上层的预定部位上照射第2波长区域的致电离射线，进行显影处理，只除去所述上层的照射区域，将上层形成所希望图案的步骤；在因所述上层的图案形成而露出的所述下层的预定区域上，照射第1波长区域的致电离射线，进行显影处理，将所述下层形成所希望的图案的步骤；其特征在于，所述第1正型感光材料层含有3元共聚物，所述3元共聚物是以甲基丙烯酸甲酯为主成分，含有作为热交联因子的甲基丙烯酸和扩展对所述致电离射线的灵敏度区域的因子的3元共聚物。