[发明专利]防振装置、平台装置及曝光装置无效
| 申请号： | 03146582.X | 申请日： | 2003-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN1480787A | 公开（公告）日： | 2004-03-10 |
| 发明（设计）人： | 西健尔 | 申请（专利权）人： | 尼康株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种防振装置，具备有借由第一气体室(69)的内部气体的压力而使支持对象物(OB)的自重通过保持构件(62)被支持，基于第一气体室和第二气体室(79)的至少一方的状态变化，驱动使第二气体室的内容积变化并使第一气体室的内容积变化的可动装置(149)，调整保持构件的重力方向的位置的调整装置(74)，所以，当由于振动等而使保持构件在重力方向位移时，借由利用调整装置使可动装置被驱动，可使保持构件被维持于原来的位置，而且，借由使可动装置和支持对象物非接触，这就不会直接使支持对象物变形，只是由两气体室的内容积的变化而驱动支持对象物，所以即使第一气体室内的气体的刚性高也没有问题，使除振或制振效果提高，且谋求装置的小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 平台 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种防振装置，其特征在于包括：保持物体的保持构件；借由一个内部气体的压力而在重力方向支持前述保持构件的第一气体室；在与前述第一气体室连通，且具有较前述第一气体室小的内容积的第二气体室；变化前述第二气体室的内容积而使前述第一气体室的内容积变化的可动装置；以及根据前述第一气体室和前述第二气体室至少一方的状态变化，驱动前述可动装置而调整前述保持构件的前述重力方向的位置的调整装置。
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