[发明专利]感应耦合等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种感应耦合等离子体处理装置，不增大电介质壁的支持部分，且不增厚电介质壁就可以抑制包含电介质壁的、分隔处理室和天线室之间的分隔结构的翘曲。该处理装置由下述构件构成：对基板施以等离子体处理的处理室，向处理室内供给处理气体的处理气体供给系统，对处理室内进行排气的排气系统，构成处理室上部壁的电介质壁，在电介质壁上方设置的高频天线，在处理室的上方设置的、由电介质壁形成底壁的、收容高频天线的天线室，把天线室分隔成多个小室的、由天线室的侧壁支持的垂直壁；电介质壁与多个小室对应分割成多片，电介质壁的各分割片由天线室的侧壁和垂直壁支持。

主权项

1.一种感应耦合等离子处理装置，其特征为，包含以下部件：保持为气密的、对被处理基板施以等离子体处理的处理室；向所述处理室内供给处理气体的处理气体供给系统；对所述处理室内进行排气的、使所述处理室内形成减压状态的排气系统；构成所述处理室的上部壁的电介质壁；设置在所述电介质壁上方的、用于通过供给高频电力而在所述处理室内形成感应电场的高频天线；设置在所述处理室上方的、由所述电介质壁形成底壁的、收容所述高频天线的天线室；和把所述天线室分隔成多个小室的、被所述天线室侧壁支持的垂直壁，所述电介质壁与所述多个小室对应分割为多片，所述电介质壁的各分割片由所述天线室的侧壁和所述垂直壁支持。