[发明专利]十字标记搬运方法、十字标记搬运装置以及曝光装置无效
| 申请号： | 03142810.X | 申请日： | 2003-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN1473748A | 公开（公告）日： | 2004-02-11 |
| 发明（设计）人： | 菊地秀和;山本明宏 | 申请（专利权）人： | 尼康株式会社;仙台尼康株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B65G47/91;H01L21/027;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种十字标记搬运方法与装置，用以稳定地保持圆形EB曝光用十字标记，并且安全地将其搬运，十字标记搬运装置的前端具有U字型钩(1)，设置在U字型钩(1)的臂部(5)间的侧壁(3a)上的段差部(9)以及各臂部(5)的前端上，形成吸引部(11)，吸引部(11)包括环状突部(13)与凹部(15)，十字标记(R)载置于突部(13)上，吸引部(11)吸引保持十字标记(R)外周缘的约略相等分离的三个点(支撑点)，借此，可以稳定地保持十字标记(R)并且安全地搬运，使其不会脱落。 | ||
| 搜索关键词： | 十字 标记 搬运 方法 装置 以及 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种十字标记搬运方法，用以搬运图案形成于圆形基板的一个十字标记，其特征在于以设置在一个搬运机械手臂的U字型钩上所设置的吸引部，来吸引保持该十字标记的基板的外周缘上约略相等分离的三个保持点。
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