[发明专利]飞秒激光单脉冲形成二维纳米尺度周期结构的工作装置

摘要

一种飞秒激光单脉冲形成二维纳米尺度周期结构的工作装置，其特征在于它包括飞秒激光器，沿飞秒激光器光束前进的方向依次是扩束望远镜、30％反射镜，该30％反射镜的反射光束依次经第三全反射镜、第一透镜、第四全反射镜形成第一参考光束到达样品，该30％反射镜的透射光束依次经第一全反射镜、50％反射镜、第二全反射镜、第二透镜形成物光束照射样品，该50％反射镜的反射光束经第三透镜和第五全反射镜形成第二参考光束到达样品。利用本发明可同时形成多个二维周期微结构。

主权项

1、一种飞秒激光单脉冲形成二维纳米尺度周期结构的工作装置，其特征在于它包括飞秒激光器(1)，沿飞秒激光器(1)光束前进的方向依次是扩束望远镜(2)、30％反射镜(3)，该30％反射镜(3)的反射光束依次经第三全反射镜(7)、第一透镜(10)、第四全反射镜(8)形成第一参考光束到达样品(13)，该30％反射镜(3)的透射光束依次经第一全反射镜(4)、50％反射镜(5)、第二全反射镜(6)、第二透镜(11)形成物光束照射样品(13)，该50％反射镜(5)的反射光束经第三透镜(12)和第五全反射镜(9)形成第二参考光束到达样品(13)。