[发明专利]可聚合组合物、阻剂及电子束平版印刷之方法

摘要

本案为有关于使用在电子束平版印刷中的一种可聚合组合物，系根据右式之结构分子式，其中：m＝由0.1至0.9，n＝由0.1至0.9，并且m+n＝1，I＝由1至100，R1＝氢、烷基、卤素、胺、硅或是锗的化合物，其所具有的链长接近六个碳或硅或锗原子，R2＝氢、烷基、卤素、胺、硅或是锗的化合物，其所具有的链长接近六个碳或硅或锗原子，R3＝可被移除的一有机保护群组。本案亦有关于一种阻剂与使用此阻剂的方法。在一阻剂中可聚合组合物的使用降低或防止在高曝光敏感度下一基质的充电。

主权项

1.一种用于电子束平版印刷术中的可聚合组合物，该可聚合的组合物系根据下列的结构式：其中：m为由0.1至0.9，n为由0.1至0.9，并且m+n＝1，I为由1至100，R1为氢、烷基、卤素、胺、硅或是锗的化合物，其所具有的链长为最多六个碳或硅或锗原子，R2为氢、烷基、卤素、胺、硅或是锗的化合物，其所具有的链长为最多六个碳或硅或锗原子，R3为可被移除的一有机保护基团，R1、R2与R3可以是完全相同的或是不同的。