[发明专利]薄膜微机械锚无效
| 申请号： | 03131536.4 | 申请日： | 2003-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN1451601A | 公开（公告）日： | 2003-10-29 |
| 发明（设计）人： | 刘相韬;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利代理有限责任公司 | 代理人： | 王之梓 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涉及微电子机械的薄膜微机械锚，包括锚体，在锚体上设有支撑提供面，该锚体设在衬底上，锚体由锚体内层和锚体外层组成，锚体内层设在衬底上，锚体外层包覆于锚体内层上。由于本发明的锚体由锚体内层薄膜和锚体外层薄膜组合而成，所以在厚度上得到增加，整体刚度得以提高，不仅能够向连接在其上的微结构提供更大上限的支撑力，也因为整体结构刚度的增加而提供了更接近于固支的支撑边界条件。并且，本发明不需要增加额外的版图，只需采用普通锚制作所用的双层掩膜版技术。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 微机 | ||
【主权项】：
1、一种涉及微电子机械的薄膜微机械锚，包括锚体(1)，在锚体(1)上设有支撑提供面(3)，该锚体(1)设在衬底(2)上，其特征在于锚体(1)由锚体内层(11)和锚体外层(12)组成，锚体内层(11)设在衬底(2)上，锚体外层(12)包覆于锚体内层(11)上。
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