[发明专利]全氟化产物的纯化方法无效
| 申请号: | 03131467.8 | 申请日: | 1998-11-10 |
| 公开(公告)号: | CN1515488A | 公开(公告)日: | 2004-07-28 |
| 发明(设计)人: | B·A·马勒;R·N·米勒;C·-P·C·考 | 申请(专利权)人: | 纳幕尔杜邦公司 |
| 主分类号: | C01B21/083 | 分类号: | C01B21/083 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 徐雁漪 |
| 地址: | 美国特拉华*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | 本发明公开了含有含有小于约10ppm(摩尔)以下杂质(例如四氟甲烷(PFC-14))的三氟化氮(NF3)。公开了使用夹带剂的共沸与萃取蒸馏方法,该方法用于将NF3和PFC-14彼此分离和从含其他电子工业材料的混合物中分离。 | ||
| 搜索关键词: | 氟化 产物 纯化 方法 | ||
【主权项】:
1、一种从三氟化氮和四氟甲烷的第一混合物中分离三氟化氮的方法,其中在第一混合物中三氟化氮的量超过在三氟化氮和四氟甲烷的共沸或类共沸组合物中三氟化氮的量,该方法包括:a)蒸馏第一混合物,以生成三氟化氮和四氟甲烷的共沸或类共沸组合物,作为第二混合物,和b)以蒸馏塔塔顶物流回收第二混合物,以蒸馏塔塔底物流回收三氟化氮。
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