[发明专利]微小极间距电容式力敏传感器及其制造方法

摘要

本发明涉及微小极间距电容式压力传感器，包括膜片、边框、不动极板、抗压基板、隔离膜及隔离膜边框，不动极板横截面外形与边框内壁横截面形状相似，它被对称地封接固定到边框内壁上，它的一个端面与弹性膜片内表面相邻是凹球面，此凹球面与弹性膜片内表面之间的间距靠两者膨胀系数的差别精确确定，不动极板的另一端面与边框端口齐平，两者被粘接在抗压基板的平端面上，抗压基板的另一端面的中部是凹球面，周边是环形平面，隔离膜边框被粘接在这个环形平面上。本发明灵敏度高，抗过载能力强，对背景压力不敏感，长期稳定性好，结构简单容易制造，是一种高精度的压力传感器。

主权项

1、一种微小极间距电容式力敏传感器，包括膜片(1)、边框(2)，不动极板(4)、抗压基板(6)，其特征在于，所述的不动板(4)的横截面外形与边框(2)横截面形状相似，其靠近膜片(1)的端面是内凹的球面，另一端面与边框(2)的开口端齐平，这两个平端面都封接到抗压基板(6)的平端面上。